超純水系統（Ultrapure Water Systems）是將一般原水透過逆滲透（RO）、離子交換（EDI）與紫外線（UV）等多重程序，深度去除離子、有機物及微生物，使水質電阻率達到理論極限 18.2 MΩ⋅cm 的純化設備。常用於半導體製程與精密科研分析。